在光學(xué)光電行業(yè)中，各種產(chǎn)品的制造過程都需要大量的純水或超純水進(jìn)行清洗，如光學(xué)元器件、生物識(shí)別技術(shù)、薄膜光學(xué)面板、新型顯示技術(shù)、汽車電子、反光材料、半導(dǎo)體材料、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)的FPC/PCB線路板和電路板制造，以及大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等。隨著集成電路集成度的提高，對(duì)水質(zhì)的要求也相應(yīng)提高，這進(jìn)一步對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。

光電行業(yè)用超純水設(shè)備工藝：

      1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)。

      2、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)。

      3、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)。

      4、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對(duì)(≥17MΩ.CM)。

      5、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)。